CSP/TABテープ検査装置

高速・高解像度、そして簡単なオペレーション…
生産性の向上と製品の信頼性がグンとアップします

パターン検査装置（IS-9830）

画像分解能3.2μmの高精度カメラを搭載。一定速度でテープを搬送し、3連/5連/7連のマルチCCDカメラでパターン幅20μmのファインパターン検査を実現しました。 テープ幅に関わりなく毎秒24mmの高速検査が可能です。

●CSPテープ(例)

ＴＡＢインナーリード検査装置（IS-9700）

インナーリードの曲がりを検査します。1μmの精度で高速検査が可能です。
●LCDテープ(例)

ビアホール検査装置 CSPテープ裏面のボールパッドを検査します。毎秒40mmの高速検査が可能です。	テープベリファイ装置 欠陥箇所の拡大画像を見て、真の欠陥か否かをオペレータが確認した上でマーキングする装置です。